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   8921SC13型美國bird油電射頻終止載荷為了最大限度地提高工藝的重復性和一致性,現代等離子體應用需要精確的射頻功率調節和控制。射頻發生器的校準、調節和監控是確保射頻電源準確、可重復地向腔室輸送射頻電源的關鍵組成部分。

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